将两台或以上的真空泵，以及一些附属设备，以一定的方式组合到一起，以满足单台真空泵无法达到某一真空条件（如真空度、抽气量等），这种设备就称为真空机组。有些时候，虽然单台真空泵也可以达到要求，但是成本较高。这时也会采用真空机组的方式降低成本。